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Lampshade clamp
光罩移栽系列
  • FOUP/FOSB/CST传片机

    FOUP/FOSB/CST传片机
        产品详情
            该设备用于300mm晶圆传输,机器扫描晶圆后,手臂在料盒内托起晶圆(25片),收回到存储仓内,过程晶圆不与料盒接触,减少了晶圆的磨损及边缘碎裂隐患,同时降低颗粒化的污染,一次搬运25片,大大提升了生产效率,是一款非常节省空间的自动化转移设备, (分为桌上型及独立型)

    产品特性

            晶圆研磨及DSP后转移设备

    产品规格

      尺寸
            根据客户需求客制化
      材质
            根据客户需求选料
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