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产品中心光罩移栽系列RSP150
Lampshade clamp
光罩移栽系列

  • 非接触式升降水车

    非接触式升降水车
        产品详情
            该设备用于DSP后的晶圆运输，自动升降功能使放入及取出Cassette,不直接接触车箱内水源，确保水不受污染，升降机构通过外部传导动力，无摩擦颗粒产生，适用洁净室，目前投入规格为单CST和双CST车型

    产品特性

            双面抛光配套设备

    产品规格

      尺寸
            根据客户需求客制化
      材质
            根据客户需求选料
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